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(新開發)硫酸中雙氧水的催化去除技術
 
 
技術產品特徵
  • 以改質粒狀活性碳 (modified AC) 作為雙氧水催化劑
  • 耐強酸,反應速率快,不需調整 pH ,系統建置成本低
  • 相較現行方法,不需添加 HCl 等化學品,亦不會有 Cl等副產品

應用領域:
  • Piranha Clean (SPM) 清洗製程後所排放之含雙氧水的硫酸回收後再使用
  • CMP與wet etching 製程廢水中雙氧水的去除與水回收並消減對生物系統的衝擊