Veritas Series 桌上型掃描式電子顯微鏡（SEM）－大樣品觀察專用系統
Veritas Series 桌上型 SEM 提供優異的大尺寸樣品容納能力與高解析度影像品質， 搭載五軸樣品載臺、自動化影像控制與高速真空系統，可滿足材料科學、半導體、電子封裝、 奈米粒子分析、生物構造觀察等多領域的顯微分析需求。
產品特點摘要
- 支援大尺寸樣品：可容納 Ø 178 mm × 高 80 mm 樣品，適合大型材料、元件、結構件觀察。
- 高解析度影像：SE 模式 5.0 nm、BSE 模式 6.0 nm，揭示表面形貌細節。
- 五軸樣品載臺：X/Y 各 42 mm、Z 5–53 mm、旋轉 360°、傾斜 ±90°，提供多角度靈活觀察。
- 全自動影像控制：具備 Auto Focus、Auto Brightness/Contrast、Auto Gun Alignment 等功能。
- 高效率真空系統：抽真空約 90 秒、破真空 10 秒，樣品室可同時放置三個樣品。
- 相容多品牌 EDS：支援 Thermo、Oxford、Bruker、EDAX 等主流 EDS 元素分析系統。
適用領域
- 半導體封裝分析：晶粒鍵合、微裂縫、封裝材料界面觀察。
- 材料科學：表面形貌、斷面分析、破壞機制研究。
- 奈米粒子研究：粒徑形貌、分散性、表面結構解析。
- 生物樣本：昆蟲、組織表面微結構（需金屬鍍膜）。
- 電子元件檢測：PCB、焊點、MEMS 元件與金屬加工件檢驗。