產品介紹

②、製程監控

SemiChem APM-線上自動滴定儀(壁掛型)

Product details

化學濃度自動滴定量測系統

具備高精度化學濃度量測能力,可依工況客製化設定量測方法與濃度範圍,廣泛應用於半導體、光電、化工、先進材料製程。

主要技術規格

分析方法 電位法 / 標準添加法 / 光測法
準確度 ± 顯示值的 0.2%
精度 ± 0.2% 的相對誤差
測量時間 < 5 分鐘 / 每個量測
樣本量 約 0.05 ~ 5 mL(依應用而定)
樣品可接受溫度 最高可達 200°F(93°C)
水消耗量 250 mL / 每次量測
進樣口壓力需求 < 30 PSI
DI 水壓力需求 20 – 40 PSI
CDA 進氣壓力需求 60 – 80 PSI
電源需求 110/220 VAC,50/60 Hz,1/0.5 A(可現場切換)
排氣需求 1.875" OD @ 17 CFM
尺寸(英吋) 62.00" (H) × 20.50" (W) × 16.00" (D)
客製化量測 可依需求客製化各類化學濃度量測

 
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邱先生

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