線上質譜分析儀｜主要技術規格
本系統搭載高穩定度離子源與掃描層壓電磁鐵結構，適用於製程氣體、殘留氣體與成分變化之即時監測，具備寬量程、高穩定性與優異線性表現。
主要規格
| 離子源 | 雙絲電子衝擊離子源，溫度可程控（>120–200℃，控制精度 ±0.1℃） |
| 分析結構 | 掃描層壓電磁鐵，6 cm 半徑、80° 偏轉 |
| 質量範圍 | 可調；預設 1–150 amu（離子加速電壓 1000 eV） 750 V 離子加速電壓時可達 1–200 amu |
| 解析度 | 兩個收集極切換之解析縫隙，標準 60 / 20； 可選 85/140（0.36 mm / 0.69 mm）、100/45（0.56 mm / 1.45 mm）或 45/140（0.36 mm / 1.45 mm） |
| 質量標度穩定性 | 於質量 28 時，24 小時內漂移 < 0.013 amu |
| 峰形 | 在解析度 60 下，平頂寬度（99% 高度）與基峰寬度（5% 高度）之比值約 0.5 |
| 豐度靈敏度 | < 250 ppm @ 27/28 amu |
| 偵測器 | 標準法拉第偵測器，可選配法拉第 / SEM 雙偵測器配置 |
| 進樣介面 | 溫控微毛細管分子洩漏與旁路系統（標準配置） |
| 真空系統 | 渦輪分子幫浦 + 外部旋片幫浦 + 內部隔膜幫浦 |
| 樣品流量監測 | 可搭配 RMS 選項進行各路流量之數位量測與記錄 |
| 精確度 | 典型 < 0.1% 相對誤差（依應用情況） |
| 線性度 | 濃度跨 1 decade 時，相對偏差 < 1%（典型值，依應用） |
| 動態範圍 | 10 ppb – 100%（理論範圍，依應用與設定而定） |
| 長期穩定性 | 典型 < 1% 相對變化，＞10 週（依實際應用條件） |
| 電源需求 | 115 或 230 VAC |
| 機台尺寸與重量 | 約 52 cm (H) × 79 cm (W) × 47 cm (D)，約 100 kg（依實際配置而定） |