化學濃度自動滴定量測系統
SemiChem APM 200, Single Cell Floor Mount 是一套用於半導體 CMP、清洗與先進材料製程的濕式化學在線濃度監測與自動滴定系統。具備自動取樣、滴定與分析功能，可即時偵測並修正藥液濃度偏移，協助維持製程穩定、提升良率並降低化學品與報廢成本。
主要技術規格
| 分析方法 | 電位法 / 標準添加法 / 光測法 |
| 準確度 | ± 顯示值的 0.2% |
| 精度 | ± 0.2% 的相對誤差 |
| 測量時間 | < 5 分鐘 / 每個量測 |
| 樣本量 | 約 0.05 ~ 5 mL（依應用而定） |
| 樣品可接受溫度 | 最高可達 200°F（93°C） |
| 水消耗量 | 250 mL / 每次量測 |
| 進樣口壓力需求 | < 30 PSI |
| DI 水壓力需求 | 20 – 40 PSI |
| CDA 進氣壓力需求 | 60 – 80 PSI |
| 電源需求 | 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A（可現場切換） |
| 排氣需求 | 1.875" OD @ 17 CFM |
| 尺寸（英吋） | 62.00" (H) × 20.50" (W) × 16.00" (D) |
| 客製化量測 | 可依需求客製化各類化學濃度量測 |