Honeycomb Setter-蜂窩型氧化鋁基板
多孔性、超輕量、高強度與高透氣性的蜂窩型氧化鋁基板,並可搭配氧化鋯 coating, 是解決多數燒結製程問題的最佳利器。此類基板能有效改善產品在 firing 與 sintering 過程中因熱收縮性不均、受熱不均或無法貼近升溫曲線所引起的瑕疵, 並降低因頻繁更換氧化鋁平面式基板所導致的高生產成本。
Si-SiC 各類型基板與載具
主要特性
- 高強度與輕量化:SiC 材質強度約為一般陶瓷的 5 倍,重量可減少約 50%。
- 高熱傳導性:熱傳導係數約 180 W/m·K,為傳統基板或載具的 10 倍以上,可用於快速升降溫製程,並可縮短 sintering 時間 30–40%。
- 高耐氧化性:使用壽命為傳統材質的 10 倍以上。
- 高設計自由度:可依需求開模製作各種複雜形狀。



