粒徑量測系統主要規格與應用 主要規格 粒徑量測範圍:0.15 – 20 μm 測量時間:10 秒 ~ 3 分鐘 資料通道:8 ~ 32 個通道 流速控制:15 mL/min 粒徑誤差率:< 15% 主要應用 CMP Slurry(化學機械研磨液) 化學溶液 CONTACT 業務聯絡|邱先生 FST International|粒徑分析技術諮詢 Mobile: 0989-344-921 Mail: lio.chiu@fstintl.com.tw