硫酸中雙氧水的催化去除技術
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硫酸中雙氧水的催化去除技術
 
 
技術產品特徵：
  • 以改質粒狀活性碳 (modified AC) 作為雙氧水催化劑
  • 耐強酸，反應速率快，不需調整 pH ，系統建置成本低
  • 相較現行方法，不需添加 HCl 等化學品，亦不會有 Cl2 等副產品

應用領域：
  • Piranha Clean (SPM) 清洗製程後所排放之含雙氧水的硫酸回收後再使用
  • CMP與wet etching 製程廢水中雙氧水的去除與水回收並消減對生物系統的衝擊
 
業務聯絡:  郭文龍
Mobile: 0919-138-108
Mail :  Allen.kuo@fstintl.com.tw
 
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