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FX-mini-奈米粒徑- 線上即時監測儀
主要規格:
  • 粒徑量測範圍:0.15 - 20um
  • 測量時間:10sec ~ 3min
  • 資料通道:8 ~ 32 個通道
  • 流速控制:15 mL/min
  • 粒徑誤差率:< 15 %
主要應用:
  • CMP slurry(化學機械研磨液)
  • 化學溶液