落地型電子顯微鏡(Big Chamber SEM)
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落地型電子顯微鏡(Big Chamber SEM)
1.適合所有人的簡單直觀式的操作界面
2.可裝載最大樣本尺寸為-水平 :210mm垂直: 65mm
3.可乘載樣品重量最高達2KG

4.可移動的五軸樣品載檯系統 -X:120mm(電動) -Y:120mm(電動) -Z:5〜65mm(電動) -R:360°(電動或手動) -T:-20〜90°(電動或手動)
 5. X 10〜X 300,000(放大倍率)
6.減少重複動作的自動功能 -自動對焦 -自動亮度和對比度 -自動電子槍對準 -自動飽和度
7.高分辨率成像 3.0nm
8.可以搭配選用各種外加偵測器 -各廠牌EDS(能量色散X-射線光譜): Oxford, Bruker, EDAX, Thermo 均可選搭
9.真空系統 – 氣壓可低至<9*10−3Pa
10.長X寬X高 = 800mm X 825mm X 1500mm
11.重量 : 200KG
12.SE 為偵測器標配 , BSE偵測器可選配



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