主要規格: 量測粒徑範圍:0.5 - 1000 um 解晰度:8-512(使用者可根據需要自行設定) 進樣量:1ul-1000ul 量測時間:10-180s 專利技術:單粒子光學傳感技術(SPOS技術) 粒徑誤差率:<5%,重現性佳 機台尺寸:(Counter) 長48cm×寬30cm×高58cm 機台重量:40公斤 主要應用: CMP slurry(化學機械研磨液) USP 788 化學溶液 藥水