主要規格：

• 量測粒徑範圍：0.5 - 1000 um
• 解晰度：8-512（使用者可根據需要自行設定）
• 進樣量：1ul-1000ul
• 量測時間：10-180s
• 專利技術：單粒子光學傳感技術（SPOS技術）
• 粒徑誤差率：＜5%，重現性佳
• 機台尺寸：(Counter) 長48cm×寬30cm×高58cm
• 機台重量：40公斤

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​主要應用：

• CMP slurry(化學機械研磨液)
• USP 788
• 化學溶液
• 藥水